उच्च शुद्धता वाली एल्यूमिना सिरेमिक वेफर पॉलिशिंग प्लेट क्या है?

सेमीकंडक्टर उद्योग के तीव्र विकास के साथ, उद्योग का पैमाना तेजी से बढ़ा है और सेमीकंडक्टर निर्माण उपकरण सटीकता और जटिलता के मामले में लगातार विकसित हो रहे हैं। सिरेमिक में उच्च कठोरता, उच्च प्रत्यास्थता मापांक, उच्च घिसाव प्रतिरोध, उच्च ऊष्माक्षेपण, संक्षारण प्रतिरोध, कम विस्तार आदि गुण होते हैं, इसलिए इसका उपयोग सिलिकॉन पॉलिशिंग मशीन, एपिटैक्सियल/ऑक्सीकरण/प्रसार ऊष्मा उपचार उपकरण, लिथोग्राफी मशीन, डिपोजिशन उपकरण, सेमीकंडक्टर एचिंग उपकरण, आयन इम्प्लांटेशन मशीन और अन्य उपकरणों के पुर्जों के रूप में किया जा सकता है। इस प्रकार, सटीक सिरेमिक पुर्जों का अनुसंधान, विकास और उत्पादन सेमीकंडक्टर उद्योग के विकास को सीधे प्रभावित करता है। इसके निर्माण की तकनीकी आवश्यकताएं लगातार बढ़ती जा रही हैं।

उच्च शुद्धता वाला एल्यूमिना, 99.7%-99.9% एल्यूमिना।
उच्च यांत्रिक शक्ति, उच्च घिसाव प्रतिरोध, उच्च विद्युत इन्सुलेशन, उच्च रासायनिक स्थिरता, अच्छी ताप प्रतिरोधकता और संक्षारण प्रतिरोधकता। वर्तमान में, सिरेमिक ग्राइंडिंग डिस्क का उपयोग करके सेमीकंडक्टर सिलिकॉन वेफर को पीसना सबसे उन्नत और अत्याधुनिक ग्राइंडिंग विधि है। सिलिकॉन वेफर को पीसने के लिए दो-तरफ़ा ग्राइंडिंग प्रक्रिया का उपयोग किया जाता है, और ग्राइंडिंग प्रक्रिया (डिस्क सामग्री, ग्राइंडिंग द्रव, ग्राइंडिंग दबाव और ग्राइंडिंग गति आदि) में सुधार करके पिसे हुए वेफर की गुणवत्ता में सुधार किया जाता है। विशेष रूप से, कास्ट आयरन प्लेटों के स्थान पर सिरेमिक प्लेटों का उपयोग करने से वेफर की मुख्य सतह पर ग्राइंडिंग के कारण होने वाले निशान या प्रदूषण से बचा जा सकता है, धातु आयनों के प्रवेश को कम किया जा सकता है, सिलिकॉन के बाद के प्रसंस्करण को कम किया जा सकता है, बाद की प्रक्रिया (संक्षारण) के समय को कम किया जा सकता है, उत्पादन दक्षता में सुधार किया जा सकता है और सिलिकॉन प्रसंस्करण में होने वाली हानि को कम किया जा सकता है, जिससे सिलिकॉन का उपयोग काफी हद तक बढ़ जाता है।

उच्च एल्यूमिना वेफर पॉलिशिंग प्लेटइसका उपयोग अर्धचालक, पेट्रोलियम, रसायन, फोटोवोल्टिक, लिक्विड क्रिस्टल और अन्य उद्योगों में यांत्रिक पुर्जों, इलेक्ट्रॉनिक पुर्जों, माइक्रोवेव इंडक्शन डिस्क, इन्सुलेशन सामग्री और अन्य पुर्जों, अर्धचालक उपकरणों, वैक्यूम उपकरणों, लिक्विड क्रिस्टल निर्माण उपकरणों और अन्य पुर्जों में किया जाता है। बड़े आकार और उच्च शुद्धता वाले एल्यूमिना सिरेमिक का नीलम उद्योग और अर्धचालक चिप उद्योग में महत्वपूर्ण अनुप्रयोग मूल्य है। यह नीलम और अर्धचालक सिलिकॉन वेफर्स की रासायनिक यांत्रिक पॉलिशिंग (सीएमपी) के लिए एक प्रमुख सहायक और उपभोज्य है। बड़े आकार और उच्च शुद्धता वाले एल्यूमिना सिरेमिक का उपयोग एलसीडी के लिए एल्यूमिना सब्सट्रेट के रूप में भी किया जा सकता है।